Likarolo tsa Vacuum tsa Mocheso o Phahameng
Phekolo ea mocheso haholo-holo e kenyelletsa oxidation, diffusion le annealing process.Oxidation ke ts'ebetso ea tlatsetso eo ho eona li-wafers tsa silicon li kenngoa ka seboping sa mocheso o phahameng oa mocheso 'me oksijene e kenngoa ho itšoara le tsona ho etsa silica holim'a sephaphatha.Phatlalatso ke ho tsamaisa lintho ho tloha sebakeng se phahameng sa mahloriso ho ea sebakeng se tlase sa mahloriso ka motsamao oa mocheso oa limolek'hule, mme ts'ebetso ea phallo e ka sebelisoa ho theola lintho tse itseng tsa doping ka har'a substrate ea silicon, ka hona ho fetola conductivity ea li-semiconductors.
